發布者:激光(guāng)切割加工|凱利特 時間:2019/11/30 10:32:17
和(hé)打孔的情形不同的(de)是,用於切割的激光器應該具有較高的“重複頻率”,即(jí)每秒鍾好輸出幾十次到幾百次激光脈衝(而在打孔的應用中,激光器每秒鍾輸出一次或幾次激光脈衝就已經足夠了)。當然,我(wǒ)們也可以利(lì)用連續輸出的激光器來進行切割。目前看來,在切割應(yīng)用中,以二氧化碳激光器和摻鋁石(shí)榴石激光器的效果為佳。
與原有的切割方法相比(bǐ)較,激光切割的特點主要是切縫窄、速度快、即(jí)使(shǐ)是脆性材料也可以加工。在電子工業中,用激光來切割矽單晶片是特別適用的。隨著我國電子工業的飛速發(fā)展,現在(zài)的平麵工藝已經可以在很(hěn)小的麵積上製出大量的電子器件來。例如,可以在一塊一分錢硬幣(bì)那樣大的麵積上,製出七千多個晶體管、二極管、電(diàn)阻等等元件來,這些,相當於六百多個單元電路(lù)。製好後的(de)這種集成(chéng)電路或晶體管的管芯,如何(hé)準確無誤地分割開來,是一道重要而麻煩的工序。過去的加工辦(bàn)法(fǎ)是把這樣的基片(piàn)放在顯微鏡下用金剛刀反複地劃(huá)幾(jǐ)次,然(rán)後再把它們一一掀(xiān)開。這樣的生產方法不但使操作者的眼睛容易疲勞,更主要的是每次劃痕的深度不易控製,影響(xiǎng)產品質量,成品率很低。常常是其它工序都通過了,後在劃片時(shí)卻要報廢70%左(zuǒ)右,既浪費單晶材料,又影響集成度(dù)的提高。采(cǎi)用激光切割的辦法之後,在這些方麵就得到(dào)了很大的改進,成品率由原來的30%提高到80%。由於激光束很細(xì),它的(de)光斑大約隻有幾絲到十幾(jǐ)絲,作用時間又很短(幾百毫微秒(miǎo)到幾百微秒),所以切割出來的縫很窄。經激光切割後的基片,隻要輕輕一按便可分開,而且切口的(de)邊緣平直,質量(liàng)很好。和手工劃片的工藝相比較,操作上也方便(biàn)多了。
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