在激光切割過程中，產生焦點和被加工對象表麵之間相（xiàng）對位置發生變化的因（yīn）素很多，這些因素可能（néng）造成激光焦（jiāo）點位置和理想給定位置（zhì）發生偏差。這些誤差有些是具有規律（lǜ）性，可以通過（guò）定量補償方法進行補償，但一些誤差為隨機誤差，隻能通過在線檢（jiǎn）測和控（kòng）製來消除。

隻能通過在線檢測和控製來消除的隨機誤差有：

工件幾何誤差。激光切割的對象（xiàng）為板材或覆蓋件（jiàn）型零件，由於各種的影響，加工（gōng）對象表麵具有起伏不平，且在切（qiē）割（gē）過程中的熱（rè）效（xiào）應的影（yǐng）響也會產生薄板零件的表麵變形，對於1維激光加工，覆蓋件在壓製成型過程中也會（huì）產生表麵的不平，所有這些（xiē），都（dōu）會產生激光焦點與被加工對象表（biǎo）麵的位置與理想位置發生隨機變化。
工件裝夾裝置產生的誤差。激光（guāng）切割（gē）加工的工件是放在針狀工（gōng）作台上，由於加工誤（wù）差、長時間與工件之間的磨損（sǔn）和激光的燒傷，針床會出現凸凹不平，這種不平也會產生薄鋼板和激光焦點之間的位（wèi）置的隨機誤差。
編程產生的誤差。在維激（jī）光（guāng）切割加工過程中，複雜曲麵上的加工軌跡是通過直（zhí）線、圓弧等擬合的，這（zhè）些擬合曲線和實際（jì）曲（qǔ）線存在一定誤差，這些誤差使得實際焦點和加工（gōng）對象表（biǎo）麵的相對位置和理想編程位置（zhì）產生一定（dìng）誤差，而有些（xiē）示教編程係統也會（huì）引入一些偏差。
被加工工件表麵（miàn）凸凹不平、工件裝夾方式、機（jī）床的幾（jǐ）何誤差（chà）以（yǐ）及機床在負載力下的變形、工件在加工過程中的熱變形等都會（huì）造成激光焦點位置和理想給（gěi）定（dìng）位置（編程位置）發生偏差，加工人員和設計（jì）師在（zài）工作過程中應該多加注意。
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