在激光（guāng）切割過程中，產生焦點（diǎn）和被加工對象表麵之間相對位置發生變化的因素很多，這些因素可能造成激光焦點位置和理想給定位置發生偏差。這些誤差有些是具有規（guī）律性（xìng），可以通過定（dìng）量補償方法進行補償，但一些誤差為隨機誤（wù）差，隻能通過在線檢測和控製來消除。
隻能通過在線檢測（cè）和控製來消除的隨機誤差有：

工件幾何誤差。激光切（qiē）割的對象為板材或覆蓋（gài）件型零件，由於各（gè）種（zhǒng）的影（yǐng）響，加工對象（xiàng）表麵具有起伏不平，且在切割過程中的熱效應的影響也會產生薄板零件的表麵（miàn）變形，對於1維激光加工，覆蓋件在壓製成型（xíng）過程中也會產（chǎn）生表麵的不平，所有這些，都會產生激光焦點與被加工對象表麵的位置與（yǔ）理想位（wèi）置發生隨機變化。

工件裝夾裝置產（chǎn）生的誤差。激光切割加工的工件是放在針狀（zhuàng）工作台上，由於加工誤差、長（zhǎng）時間與工件之間的（de）磨損和激光的燒傷，針床會出現凸（tū）凹不平，這種不平（píng）也會產生薄鋼板和激光焦點之間的位（wèi）置的隨機誤差。
編程產生（shēng）的誤差。在維激光切割加工過程中，複雜曲麵上的加工（gōng）軌跡是通（tōng）過直線、圓弧等擬合（hé）的，這些（xiē）擬合曲線和實際曲線（xiàn）存在一定誤差，這些誤差使得實際焦點和加工對象表麵的相對位置和（hé）理想編程位置產生一定誤（wù）差，而有些示教編程係統也會引入一些偏差。
被加工工（gōng）件表麵凸（tū）凹不（bú）平、工件裝夾（jiá）方式、機床的幾何誤差以（yǐ）及機床在負載力下的變形、工件在加工過程中的（de）熱（rè）變形等都（dōu）會造成激光焦點位置（zhì）和理（lǐ）想給定位（wèi）置（編程位置）發生（shēng）偏差，加工人員（yuán）和設（shè）計師在工（gōng）作過程中應該多加注意。
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