用（yòng）激光蒸發樣品後，激光（guāng）切割（gē）加工的輻射可以直接用於光譜分析，但光譜的質最卻比傳統（tǒng）的光源（yuán）要差，因此，一般是分兩步來進行的，第一步用激光蒸發樣品，第二步用火花放電或無電極高頻放電激發蒸汽激光在發射光譜

        激光切割加工是應用顯微聚能光學係統將激光束（一般在兆瓦量級）會聚在被分析（xī）試樣約一個微小區域（10微米至300微米）內，使之在高（gāo）能激發下汽化成煙羽（yǔ）狀的氣團，當氣團通過上方處於臨界放電狀態的輔助電極（jí）時，再受到放電激發產生強光（guāng），然後用光譜（pǔ）儀（yí）進行試（shì）樣分析。激光微（wēi）區光譜分析有以下優點，分析速度快（一（yī）次激光激發（fā）的時間為亳秒量級到毫微（wēi）秒量級），分析靈敏度高（gāo）（絕對靈（líng）敏度10-6到10-12克，相（xiàng）對靈敏度（dù）0001%到0.1%）。

        需要（yào）的樣（yàng）品少（shǎo）（一般為微克量級），分析的區域小（一般為10微（wēi）米到（dào）幾百個微（wēi）米），因此（cǐ）不破壞樣品的完整性，能進行幾乎無損（sǔn）的分析。不需要預先處理即可對導體、非導體透明體（tǐ）、非透（tòu）明體、金屬、礦物、有機物、生物樣品等進（jìn）行分析.
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