激光切割(gē)加工光線的分辨極限

發布者:激光切割加工|凱利特  時間:2020/2/26 11:47:29

       探測近場光學信號的想法最早產生於1928年,但直到(dào)20世紀80年代,激光切割加工的發明(míng)才真正實現了利用光纖探針探測束(shù)縛在物體(tǐ)表麵非輻射場的實(shí)驗。普(pǔ)通光學成像的分辨(biàn)率由於(yú)受到衍射(shè)極限的限製,理(lǐ)論(lùn)上不(bú)能超過入射光波長的1/2,在可見光範圍內(nèi),這一值約為200m。當入射光(guāng)通過一個直徑小於波長的小孔時,樣品上隻有相當於(yú)小(xiǎo)孔直徑的範圍被照射此時掃描成像的分辨率(lǜ)將(jiāng)取決於探針(zhēn)的最小尖端的直徑及(jí)探針和(hé)樣品之間的間距。近場光學的本質是探測由(yóu)物體衍射產生的攜帶低於約2/空間頻率的傳導分量和攜帶高於約2/空間頻率(lǜ)的非輻射分(fèn)量,即隱(yǐn)失場(EvanescentField)分量。而隱失(shī)場的有效範圍僅限於以以(yǐ)下,所以當使用納米尺度的探針在樣品表麵(miàn)掃描時(shí),理論上可以將衍射場的非輻射分量記錄下來(lái)並轉換為傳導(dǎo)分量,從而極大地拓寬了(le)係統的頻帶,因此可以獲得超高分辨(biàn)率SNOM正是應用了近場光學原理突破了光學衍射分辨極限,實現了在介觀(guān)和納(nà)米尺度的樣品表麵收集近場光學信息。同時,SNOM是掃描探針顯微鏡(ScanningProbeMicroscope,SPM)家族中的重要成員之一,和(hé)其他SPM相同,SNOM由探針、激光切割加工信(xìn)號采集和處理、探針一樣品間距反饋控製、X-Y掃描(miáo),以及圖像處理這幾部分組成如何精確控製探針和樣品間距是SNOM實現超衍(yǎn)射分辨本領的核心問題之一,目前以激光光點反饋模式和剪(jiǎn)切力反饋模式為主要的實現方式。

激光切割加工(gōng)

        激光光點反饋模(mó)式采用的是傳統原子力顯微術(AtomForceMicroscopy,AFM)所使用(yòng)的光點反饋係統(tǒng),兩者的區別在於SNOM利(lì)用的是微懸臂鍍膜光纖探針而非金屬鎢絲探針,當探針接近樣品表麵的時候,由四象(xiàng)限(xiàn)探測器接收參考激(jī)光在微懸臂探針上產生(shēng)的反射(shè)光斑,由此(cǐ)確定探針和樣品之間的距離並進行反饋。剪切力(lì)反饋模式是指:當以本征頻率激振的探針靠近樣(yàng)品(pǐn)表麵時(z<50mm),由於激振的針尖和樣品間相互作用力的存在,其振蕩幅(fú)度及相位均會發生較大變化,由此可將探針樣品間(jiān)距控製在5~20m範圍內。剪切力反饋模式無需參考激光的介人,是一種非光學的距離調控方法,從而使(shǐ)得到的光學成像圖更具有真實(shí)性。而對於激光切割加工和樣品之間剪切力作用機製的研究,有學者則通過利用不(bú)同濕度及不(bú)同阻尼介質環境下(xià)測量(liàng)的音叉微電流和探針一樣品(pǐn)間距(1d曲線證明,由於毛細凝聚作用,探針和樣品間耦合的水合碳氫化合(hé)物分子所形成的(de)黏滯阻尼是導(dǎo)致探針和樣品間剪切力作(zuò)用的主要原因基於全內反射式的SNOM又稱光子(zǐ)隧道掃描顯微鏡(PhotonScanningunnelingMicroscope,PSTM),是另一種應用近場光(guāng)學原理的具有(yǒu)超衍射極限分辨(biàn)能力的光學顯微鏡其利(lì)用未鍍(dù)膜的(de)光纖探針代替傳統SNOM小孔徑鍍膜光纖探針。當針(zhēn)尖無限接近樣品表麵時,直接利用裸(luǒ)光纖探針接收近場光信號,其分辨能力主要由裸(luǒ)光纖尖端中(zhōng)央點的麵(miàn)積決定,理論上比利(lì)用鍍膜光纖的小孔徑(jìng)SNOM的分辨率要(yào)高幾十倍。
        但由於(yú)近場光學信息是入射激光入射角的函數,樣品表麵不平相(xiàng)當於入射角度的變化(huà),會引人人為的假象;並且由(yóu)於樣品形貌像和光學像混在一起,圖像的解釋(shì)遇到了困難。隨著各種近場光(guāng)學顯微鏡的不斷研發和完善,包括樣品和針尖距離精確控製技(jì)術的探索及快速掃描(miáo)技(jì)術的發展,以及與(yǔ)其他成像技術的結合,近場光學顯微技術必將(jiāng)在亞波長和納米材料領域迎來(lái)更廣泛的應(yīng)用。表麵等離激元(SPPs)作為金屬表麵的一(yī)種元激發在本質上和近(jìn)場光學相似,都(dōu)與高頻電磁場的激發和傳播有關。SPPs和光子耦合,以及由此(cǐ)產生的係列特(tè)殊光學效應已經成為目前研究的熱點。Raether對光(guāng)滑和粗(cū)糙表麵產生的SPPs做了一係(xì)列早期的研究Kno則比較(jiào)完整地總結介紹了20世紀(jì)90年代有關SPPs的理論和(hé)實驗,並且(qiě)指出雖然SPPs可以產生於任(rèn)何金屬的表麵,但(dàn)是由具有微納結構的金屬表麵所(suǒ)激發的SPPs具有更好的共振(zhèn)增(zēng)強特性(xìng)。Kretschmann、Raether和Oto是最早在實驗中觀測到SPPs的(de)科學家,而Fischer和Poh則首次將表麵等離激元共振(SurfacePlasmonResonant,SPR)技術應用於近場光學顯微領域。
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